成果简介
具有自主知识产权的真空预载气浮支承技术；使用先进的制造装调工艺，机械性能突出；搭配多读数头误差反馈补偿技术；采用压电马达驱动，实现纳米级控制以及任意角度分度；配置一套高可靠性驱动控制系统。用于角度量值传递，惯性导航器件测试校准，圆光栅、圆时栅等基础角度编码器测试校准。
技术特点
1．稳定的气膜间隙；
2．轴跳和端跳均优于0.05um；
3．高承载和刚度、负载能力80kg；
4．稳定0.1”分度精度；
5．纳米级控制，驱动分辨率0.001”；
6．稳定运行过程；
7．可根据用户需求定制。
详细参数
